丁腈橡胶(NBR)由于其良好的耐油性和较低的成本,是目前油封及O型密封圈最常用橡胶密封材料之一。然而,其在实际使用中极易磨损,从而影响整个设备的安全性和可靠性。因此,改善丁腈橡胶耐磨性对于提高其服役寿命具有极其重要的意义。本文以丁腈橡胶为基底,采用非平衡磁控溅射和PECVD技术在丁腈橡胶表面制备DLC薄膜,并重点研究了Ar等离子预处理偏压、时间和Si中间层厚度对薄膜界面结合强度和摩擦学性能的影响。研究结果表明,氩等离子预处理偏压和时间会显著影响薄膜结合强度和摩擦磨损性能。通过高偏压Ar等离子预处理可有效改善丁腈橡胶表面DLC薄膜结合强度和耐磨损性能,但预处理时间却存在最佳值,高于或低于此值均不利于薄膜结合强度和摩擦学性能。而Si中间层的引入(合适的厚度)则改变了DLC薄膜中的sp2含量,有效地缓解了薄膜中的压应力,显著的改善了薄膜膜基结合强度。同时Si中间层还可提高薄膜的承载能力,从而确保了其良好的摩擦学性能。