【摘 要】
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用N溅射高纯石墨靶产生等离子束，将等离子束通过由90°的弯曲螺线管产生的过滤磁场，过滤掉中性原子和宏观碳粒子，只将碳离子和氮离子引向衬底，形成CN薄膜。采用X射线光电子能谱、
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用N<,2>溅射高纯石墨靶产生等离子束，将等离子束通过由90°的弯曲螺线管产生的过滤磁场，过滤掉中性原子和宏观碳粒子，只将碳离子和氮离子引向衬底，形成CN薄膜。采用X射线光电子能谱、红外光谱和拉曼光谱，研究了CN薄膜的光学性质。2200，1500，1350cm<-1>三个红外吸收特征峰表明膜中C原子和N原子有C-N，C=N和C≡N三种不同的键合方式，同时还存在与C=C键相关的1634cm<-1>的吸收峰。XPS谱分析得出，膜中N的含量达到47℅，把XPS的Cls和Nls谱进行高斯分解，进一步分析得出CN薄膜是由β-C<,3>N<,4>和CN<,x>两相组成的。而CN薄膜的拉曼光谱非常类似于非晶碳的拉曼光谱，即明显出现1580cm<-1>的“G”带和1360cm<-1>的“D”带。
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