【摘 要】
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采用金属预制膜硫化法制备铜锌锡硫薄膜,分别制备了不同成分的预制膜,考察了预制膜成分对Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜特性的影响.研究得出:四种成分的预制膜硫化后均能得到主要组成
【机 构】
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清华大学材料学院,先进成形制造教育部重点实验室
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采用金属预制膜硫化法制备铜锌锡硫薄膜,分别制备了不同成分的预制膜,考察了预制膜成分对Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜特性的影响.研究得出:四种成分的预制膜硫化后均能得到主要组成相为CZTS的薄膜,薄膜具有良好的结晶性,对于富锌的薄膜可观察到贯穿于薄膜断面的尺寸超过2μm的CZTS大晶粒.但除主要组成相CZTS之外,薄膜中同时还会有少量二元相存在,硫化后富锡的薄膜中容易有二元相SnS存在,富锌的薄膜中容易有少量SnS和Cu7S4存在.对富锡的薄膜用浓盐酸刻蚀的方法可以成功去除二元相SnS,得到由单一锌黄锡矿相组成的CZTS薄膜.
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