【摘 要】
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电化学制备金属薄膜工艺在微电子领域的应用越来越广泛,体现出其他一些薄膜制备工艺不具备的优势。本文从电镀在半导体集成电路工艺、混合集成电路工艺制作、封装等微电子领域中的应用进行了论述。
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第二十四研究所,重庆 400060
【出 处】
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2012中国(重庆)国际表面工程大会暨第十一届中国表面·电镀与精饰年会
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电化学制备金属薄膜工艺在微电子领域的应用越来越广泛,体现出其他一些薄膜制备工艺不具备的优势。本文从电镀在半导体集成电路工艺、混合集成电路工艺制作、封装等微电子领域中的应用进行了论述。
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