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该文主要 介绍10<-10>Pa溅射离子泵的研制，论述提高极限真空和抽气速率的方法。
10-10Pa溅射离子泵的研制
【摘 要】
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该文主要 介绍10Pa溅射离子泵的研制，论述提高极限真空和抽气速率的方法。
【机 构】
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上海真空泵厂上海市计量测试技术研究院
【出 处】
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中国真空学会真空获得与测量学术交流会
【发表日期】
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2001年5期
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