大口径碳化硅离轴抛物面反射镜制造技术

来源 :第十届全国激光技术与光电子学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：johndovl1

【摘要】

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　　在简要总结了碳化硅材料制备空间反射镜各种优点的基础上，对加工和检测碳化硅非球面镜的关键技术和方法进行了分析和研究.利用自行研制的非球面数控加工中心FSGJ-2基于CCO

【作者】

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王孝坤;

【机构】

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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春130033

【出处】

：

第十届全国激光技术与光电子学学术会议

【发表日期】

：

2015年期

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　　在简要总结了碳化硅材料制备空间反射镜各种优点的基础上，对加工和检测碳化硅非球面镜的关键技术和方法进行了分析和研究.利用自行研制的非球面数控加工中心FSGJ-2基于CCOS技术，对离轴碳化硅非球面反射镜分别进行了研磨和抛光，并利用三坐标测量仪和激光跟踪仪对其轮廓和光学参数进行监控和测量.结合工程实践，对一口径为820 mm的碳化硅离轴抛物面进行了实际加工和测试.并设计和制作了补偿透镜对其进行零位补偿干涉测量，得到其最终的PV值和RMS值分别为0.335λ(λ＝632.8 nm)和0.018λ，满足了光学设计要求.

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