薄膜测试的微桥技术

来源 :祝贺郑哲敏先生八十华诞应用力学报告会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：nanshixujie

【摘要】

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总结了测试薄膜力学性能的微桥技术,分析了基底变形对测量物理量的影响.采用线性弹簧模型表征基底变形,并通过量纲分析和有限元计算给出弹簧系数的表达式,建立了微桥测试的理

【作者】

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张统一李剑荣

【机构】

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香港科技大学机械工程系(香港)中国科学技术大学材料力学行为和设计中科院重点实验室(合肥)

【出处】

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祝贺郑哲敏先生八十华诞应用力学报告会

【发表日期】

：

2004年9期

【关键词】

：

薄膜微桥力学性能基底

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总结了测试薄膜力学性能的微桥技术,分析了基底变形对测量物理量的影响.采用线性弹簧模型表征基底变形,并通过量纲分析和有限元计算给出弹簧系数的表达式,建立了微桥测试的理论基础,即薄膜微桥的大变形挠度-载荷公式.利用微桥技术成功地测量了Si<,3>N<,4>薄膜和SiO<,2>薄膜的弹性模量和残余应力.

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