【摘 要】
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Rapid thermal processing,RTP-equipment is one critical production step for the CIGSSe absorber formation on large area glass substrates.The process can safe
【机 构】
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Marketing & Sales Asia,Singulus Technologies AG
【出 处】
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SNEC 第七届(2013)国际太阳能产业及光伏工程(上海)论坛
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Rapid thermal processing,RTP-equipment is one critical production step for the CIGSSe absorber formation on large area glass substrates.The process can safely handle the thermal processing of large glass substrates of over 1 sqm at temperatures up to 600 ℃ under toxic and corrosive gas atmosphere.High heating and cooling rates,combined with an excellent temperature and gas homogeneity during all process stages are the key factors,which allow the formation of an optimal CIGSSe absorber,required for the production of high efficiency solar modules.
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