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从带电运动粒子受磁场的作用出发,在研究了硅粒子团的带电状态后,分析在不同方向的外加磁场中,运动的硅粒子团受磁场作用的情况,研究磁场对硅熔体流动状态的作用结果,得到生长完美晶体所需的外加最有效的磁场是轴向磁场.为MCZ技术提供理论依据.
粒子运动轨迹与磁场直拉硅技术中磁场方向的优选
【摘 要】
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从带电运动粒子受磁场的作用出发,在研究了硅粒子团的带电状态后,分析在不同方向的外加磁场中,运动的硅粒子团受磁场作用的情况,研究磁场对硅熔体流动状态的作用结果,得到生
【机 构】
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河北工业大学材料学院(天津)
【出 处】
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第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会
【发表日期】
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2003年期
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