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根据分振幅椭偏测量法的基本原理要求，设计了基于单片机P87C52的可扩展五路串行数据采集与处理系统.其中单片机用来获得经放大、A/D转换后的传感器数据，并转发给上位机进行数据处理.上位机采用虚拟仪器设计软件LABVIEW设计了数据处理程序，实现了数据的可选择格式存储、多数据平滑滤波和实时数值、图形化两种显示输出.该数据采集与处理系统简单易实现、成本低，且利用LABVIEW进行图形化编程，系统应用更直观方便。