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本文简述PSD从理论模型的提出到传感器研究历程,分析PSD结构及其工作原理,介绍了国内外PSD发展现状及其应用研究、PSD精度标定设备,讨论影响PSD位置测量精度的因素及其国内外PSD产品特点和存在的问题.
PSD发展进程和应用研究
【摘 要】
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本文简述PSD从理论模型的提出到传感器研究历程,分析PSD结构及其工作原理,介绍了国内外PSD发展现状及其应用研究、PSD精度标定设备,讨论影响PSD位置测量精度的因素及其国内外
【机 构】
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北京安定门外北苑89602部队
【出 处】
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中国兵工学会第10届测试技术研讨会
【发表日期】
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2000年期
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