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AuZnS+CdTeHgCdTe MIS器件的制备及其C-V特性
【机 构】
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苏州大学物理科学与技术学院中国科学院上海技术物理研究所(上海)
【出 处】
:
第十二届全国半导体物理学术会议
【发表日期】
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1999年10期
其他文献
该文从热力学角度对LPE中同时存在的Si氧休与SiO〈,2〉腐蚀的动态平衡过程进行了分析,探讨低温液相外延过程中防止硅氧化的技术条件,尝试采用Au/60wt℅Bi合金作为外延溶剂,采用饱和和Sn源保护Si衬底的方