【摘 要】
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基于MEMS技术的微型气敏传感器阵列功耗低、体积小,适用于微型电子鼻系统.本文分析了微型气敏传感器阵列的热学行为,并利用有限元方法模拟计算不同电极结构的器件功耗及工作
【机 构】
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传感技术国家重点实验室,中国科学院电子学研究所(中国北京)
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基于MEMS技术的微型气敏传感器阵列功耗低、体积小,适用于微型电子鼻系统.本文分析了微型气敏传感器阵列的热学行为,并利用有限元方法模拟计算不同电极结构的器件功耗及工作区温度分布,研究阵列中各单元的尺寸、间距及电极形状对器件性能的影响.根据分析模拟结果并结合实际工艺条件设计了"单膜片"结构的四单元微型气敏传感器阵列,解决了隔离层的应力和绝缘等问题,成功制备出阵列器件.阵列中各单元工作温度可独立控制.器件的工作区温度为~300℃时,加热功率约45mW/单元.
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