微电子工厂的大宗气供应系统的设计建造

来源 :中国动力工程学会工业气体专业委员会2013年年会暨工业气体供应技术论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shi123abc
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本文对微电子工厂中的大宗气体系统的设计过程作了概括性的描述,同时结合自己对多个TFT-LCD工程设计经验,对TFT-LCD8.5G厂中的大宗气体的需求及系统配置案例做介绍,指出大宗气体系统由供气系统和输送管道系统组成,其中供气系统又可细分为气源设备、纯化设备和品质监测等几个部分,对当前大宗气体站的建造运营模式做介绍分析,提出了大宗气体供应模式中值得注意和考虑的问题,对大宗气体站的建造运营模式的发展方向作了探讨.
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