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AlN陶瓷衬底的SIMS和XRD测量
【机 构】
:
中国科学院表面物理国家重点开放实验室
【出 处】
:
’94秋季中国材料研讨会
【发表日期】
:
1994年期
其他文献
采用热压法成功地制备了大件氮化铝陶瓷薄片,比较了氮化铝粉末与氮化铝陶瓷导热系数的关系,探讨了热处理工艺提高氮化铝陶瓷导热系数的机理。
氮化铝粉粒受冲击波作用后,其颗粒尺寸和外观形态变化很小,但其内部产生了大量缺陷。点缺陷浓度增加几个数量级,在烧结初期有重要贡献,但是位错缺陷贡献更大。在热压缩期间,沿位错