论文部分内容阅读
本文采用溶胶-凝胶法,以正硅酸四乙酯为前驱体,氨水为催化剂制备标准SiO2溶胶.在溶胶老化过程中使用硅烷偶联剂KH570对溶胶改性,通过浸渍提拉法在BK7玻璃上镀膜,获得高透过率且耐环境稳定性良好的SiO2减反膜.使用原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)、UV-Vis-NIR分光光度计、傅里叶变换红外光谱仪、接触角测试仪等对薄膜的性能进行表征.结果表明:当KH570与TEOS的摩尔比为1∶2时,薄膜的透过率最高为99.46%,在90%RH湿度环境下放置两个月时间后,薄膜的透过率基本不变,表现出了良好的耐环境稳定性.