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本文设计了一种新型的微机械陀螺.通过模态分析和优化设计,使得驱动模态固有频率和检测模态固有频率之差落在所要求的频差范围内,获得了比以前微机械陀螺更高的Q值.通过谐振响应分析发现,在陀螺上任意对称两点的X方向上位移相等,相位相同,而Y方向上位移相等,方向相反,这样就没有存在机械耦合的可能.
微机械陀螺动态特性研究
【摘 要】
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本文设计了一种新型的微机械陀螺.通过模态分析和优化设计,使得驱动模态固有频率和检测模态固有频率之差落在所要求的频差范围内,获得了比以前微机械陀螺更高的Q值.通过谐振
【机 构】
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浙江大学信息与电子工程系,杭州,310027
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2005年期
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