涡轮分子泵抽气性能计算及其误差评价

来源 :中国真空学会2014年年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sunzheng_1985
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  涡轮分子泵作为获得清洁高真空、超高真空环境的主要设备,在半导体、粒子加速器、薄膜制备、小型环境模拟等装置中得到应用。涡轮分子泵主要工作在分子流态下,其抽气性能由涡轮叶片几何参数、转子线速度和涡轮串联级数等决定。目前涡轮分子泵性能计算采用的正反向传输几率查表法和按涡轮叶片几何均值(齿长之半)处参数(节弦比、速度比)线性平均法,存在计算效率低,且与泵实际抽气性能有差别的问题。本文采用数据回归方法,建立了叶片倾角、节弦比下的涡轮叶片正反向传输几率与速度比的数学关系,提高了计算效率;通过沿齿长方向上抽气性能的中值分析,获得了涡轮叶片抽气性能在齿长方向上的均值位置。计算结果表明,现有几何中值计算方法存在计算误差。本文的研究工作为现有涡轮分子泵抽气性能计算误差评估、计算方法改进和计算效率、计算精度提高具有参考价值。
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