【摘 要】
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设计了一种基于3ω法的新型结构液体导热系数传感器,推导了加热器平均温度波动表达式,通过求解加热器温度波动的实部分量与对数频率曲线的斜率确定液体导热系数.建立二维模型在频域下的热传导方程组,通过自定义偏微分方程组求解传感器温度,并分析了支撑薄膜导热系数的影响.仿真表明,降低薄膜材料导热系数,并选取合适输入电流频率范围就可以忽略支撑薄膜影响.该传感器具有尺寸小、灵敏度高、所需被测液体体积小的优点.
【机 构】
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西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 西安710049 陕西省计量科学研究院 西安71006
【出 处】
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第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
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设计了一种基于3ω法的新型结构液体导热系数传感器,推导了加热器平均温度波动表达式,通过求解加热器温度波动的实部分量与对数频率曲线的斜率确定液体导热系数.建立二维模型在频域下的热传导方程组,通过自定义偏微分方程组求解传感器温度,并分析了支撑薄膜导热系数的影响.仿真表明,降低薄膜材料导热系数,并选取合适输入电流频率范围就可以忽略支撑薄膜影响.该传感器具有尺寸小、灵敏度高、所需被测液体体积小的优点.
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