【摘 要】
:
本文用磁控反应溅射法在不同氧分压下制备了氮氧化铪薄膜,沉积过程在氧气、氮气和氩气的气氛中进行,衬底为多光谱ZnS,沉积温度为室温.用X射线衍射、扫描电镜、原子力显微镜、傅
【机 构】
:
北京国晶辉红外光学科技有限公司,北京有色金属研究总院,北京 100088
论文部分内容阅读
本文用磁控反应溅射法在不同氧分压下制备了氮氧化铪薄膜,沉积过程在氧气、氮气和氩气的气氛中进行,衬底为多光谱ZnS,沉积温度为室温.用X射线衍射、扫描电镜、原子力显微镜、傅立叶变换红外光谱仪、紫外可见分光光度计等分别研究了不同氧分压下HfoxNy薄膜的晶体结构、显微结构、光学性能等。XRD分析表明,随着氧分压的降低,薄膜的晶体结构由氧化铪转变为氮氧化铪相,SEM和AFM分析表明不同氧分压下沉积的薄膜都为柱状结构,氧分压较低时薄膜表面粗糙度较大,镀膜之后,在0.35~2μm范围内,薄膜的透过率变化有显著差异,在2~12μm波段,薄膜透过率和未镀膜衬底透过率相当,变化小明显。
其他文献
缓慢生长的习性;抗旱,耐热性突出;茎叶茂盛,叶丛密集;适应能力较强;具匍匐走茎;能节节生根,在节间处形成新植株;喜温暖湿润的气候、排水良好的沙质土壤;喜阳光,亦耐半阴;耐
18辊轧机的主要优点是既可用于4辊轧机改造,又可设计新型多辊轧机,用于冷轧碳钢,特别是合金钢、不锈钢等薄板带产品。本文介绍了国内自主研发与首创的400mm4/18辊可换双机架
本文探讨了喷流预热装置对连续加热炉的意义,并根据喷流段内钢坯的受热情况,建立了合理的数学模型,采用数值计算方法,借助于计算机求解钢坯温度随着炉内喷流预热装置的长度的
本文采用金相图像分析方法,定量分析了板坯厚度方向金相组织的体积百分比含量,得到了沿厚度方向组织的变化。为了得到分析区域碳的重量百分比含量,利用组织的晶格常数等进行
高校教学管理是高校管理的一个重要组成部分,它对稳定教学秩序、有效利用教学资源、提高教学质量、确保人才培养质量起着关键作用.高等教育大众化进程中对高校教学管理提出了
本文利用金相试验方法和理论模犁方法,研究了几种含Nb微合金化齿轮钢的奥氏体晶粒长大动力学,试验钢中Nb含量分别为O%、0.04%、0.06%和0.08%,奥氏体化温度为900~1200"C,奥氏体化保
本文利用光学显微镜、扫描电镜、背散射电子衍射(EBSD)、以及透射电镜对17CrNiMo6钢经淬火和低温回火后的马氏体组织特征进行了定量分析,并且研究了其对强度的影响。结果表明
本文用Gleeble-1500热/力模拟机测试了X60、X65、X70钢铸坯的高温延塑性,并进行对比研究,通过扫描电镜、金相显微镜对断口形貌及组织进行了分析。结果表明:高温脆性区(Tl~1300℃
随着国家教育事业的不断扩大, 35岁以下青年教师占专职教师的比例也不断增加.然而国家人才市场的开放,青年教师考研持续升温,跳槽转岗或向经济较为发达、待遇较好地区流动的
立秋之后,秋雨渐多,昼夜温差悬殊,是疾病的多发季节,要重视保健。秋季常见病有如下几种: 一、中风。深秋,人体受冷空气刺激,常导致交感神经兴奋,引起血压升高,促使血栓形成,