【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si 衬底上制备出介电性优良的PZT 薄膜，在此基础上分别用脉冲激光沉积、磁控溅射制备了Co3O4、Co 薄膜，最终得到Co/Co3O4/PZT 多层薄膜.采用X
【机 构】
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南京大学物理学院 固体微结构国家实验室 南京 210093
【出 处】
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中国物理学会2013年秋季学术会议
论文部分内容阅读
采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si 衬底上制备出介电性优良的PZT 薄膜，在此基础上分别用脉冲激光沉积、磁控溅射制备了Co3O4、Co 薄膜，最终得到Co/Co3O4/PZT 多层薄膜.采用XRD、SEM、AFM分别对多层薄膜的物相、微观相貌进行了表征.XRD 结果表明多层薄膜中除Co、Co3O4、PZT 外无其它杂相.
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