【摘 要】
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Energy dispersive X-ray spectroscopy (EDS) in combination with scanning (transmission) electron microscopy is a well-established technique.The attainable high s
【机 构】
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Bruker-NanoGmbH,Berlin,GermanyFerdinandBraunInstituteforHighFrequencyTechnologyandHumboldtUniversity
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Energy dispersive X-ray spectroscopy (EDS) in combination with scanning (transmission) electron microscopy is a well-established technique.The attainable high spatial resolution and accuracy of quantitative analysis still cause surprise though.The capabilities of STEM-EDS using silicon drift detector (SDD) technology were explored, studying the element composition of various nanostructures.
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