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本文详细地讨论了电迁移的影响因素,对不同条件下电迁移失效模型之间的联系进行了分析,给出了电迁移失效模型的通用模型并进行了半导体器件可靠性评估的案例研究.
半导体器件的通用电迁移失效物理模型
【摘 要】
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本文详细地讨论了电迁移的影响因素,对不同条件下电迁移失效模型之间的联系进行了分析,给出了电迁移失效模型的通用模型并进行了半导体器件可靠性评估的案例研究.
【机 构】
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北京航空航天大学,工程系统工程系,北京市,100083
【出 处】
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2005第十一届全国可靠性物理学术讨论会
【发表日期】
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2005年10期
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