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LPCVD Si基转换生长3C-SiC薄膜的光学性质初探
【机 构】
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四川大学物理科学与技术学院微电子学系微电子技术四川省重点实验室,成都,610064
【出 处】
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第十五届全国光散射学术会议
【发表日期】
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2009年期
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