基于光学设计软件的相移点衍射干涉仪建模

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【摘要】

：

<正>点衍射干涉仪的参考光是由针孔衍射而得到的。与传统FIZEAU或Twyman-Green干涉仪相比,它摆脱了参考面精度的限制,理论上能够达到极高的检测精度,可以应用于极紫外光刻(EU

【作者】

：

张海涛于杰王辉

【机构】

：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;

【发表日期】

：

2004年期

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<正>点衍射干涉仪的参考光是由针孔衍射而得到的。与传统FIZEAU或Twyman-Green干涉仪相比,它摆脱了参考面精度的限制,理论上能够达到极高的检测精度,可以应用于极紫外光刻(EUVL)光学元件和系统的检测中。点衍射干涉仪检测元件面形时,一般是将针孔置于被检球面的球心处。由小孔衍射而出的近理想球面波分成两部分,一部分作为测试光经被检球面反射

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