【摘 要】
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本文采用反应磁控溅射法制备二氧化硅、氮化钛及不同氮氧比的氮氧化钛(TiNxOy)薄膜,并用光谱椭偏测试与分析的方法测试拟合得到以上薄膜在300-2500nm波段的折射率与消光系数;在此基础上通过TFCalc软件光学设计、反应磁控溅射制备获得Al(红外反射层)/Ti-N-O(太阳光吸收层,包括TiNx/TiNx1Oy1/TiNx2Oy2三个吸收亚层)/SiO2:Al(减反层)光谱选择性吸收涂层,吸收
【机 构】
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绿色建筑材料国家重点实验室、国家玻璃深加工工程技术研究中心、建筑节能与太阳能玻璃加工技术北京市重点实验室,中国建筑材料科学研究总院,北京,100024,中国
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本文采用反应磁控溅射法制备二氧化硅、氮化钛及不同氮氧比的氮氧化钛(TiNxOy)薄膜,并用光谱椭偏测试与分析的方法测试拟合得到以上薄膜在300-2500nm波段的折射率与消光系数;在此基础上通过TFCalc软件光学设计、反应磁控溅射制备获得Al(红外反射层)/Ti-N-O(太阳光吸收层,包括TiNx/TiNx1Oy1/TiNx2Oy2三个吸收亚层)/SiO2:Al(减反层)光谱选择性吸收涂层,吸收率94.6％,辐射率3.8％(100℃),吸收辐射比α/ε为24.20;结合x射线光电子能谱和扫描电镜断面分析证实涂层中TiNx、TiNx1Oy1、TiNx2Oy2三个吸收亚层之间没有明显异质界面,并且成分梯度渐变;并结合X射线衍射分析和扫描电镜微观形貌分析探讨了涂层在250℃和400℃大气环境下的热稳定性与涂层晶体结构和形貌的相关性.
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设计了达到截止蓝光目的的膜系,并采用磁控溅射镀膜工艺,以TiO2和SiO2作为介质膜,通过优化工艺参数,在玻璃基片成功制备了具有截止蓝光特性的功能复合薄膜.用XPS表征了TiO2薄膜中Ti元素价态以及化学计量比,用NKD-7000分析了薄膜的光学参数,用FTIR分析了SiO2薄膜的结构,采用FESEM分析薄膜表面形貌,用紫外-可见光谱仪测试了复合膜选择性透过的特性,分析了影响截止蓝光镀膜玻璃性能的
采用溶胶凝胶法,以钛酸四丁酯,乙酰丙酮和水杨酸做前驱体,溶于乙醇,在石英基板上旋涂后通过900℃退火处理,制备了电阻率低至-1×10-2Ω·cm的TiO2-C复合薄膜.复合薄膜中TiO2处于非晶态,石墨结晶C镶嵌其中起到了提高导电性的结果.通过高分辨透射电子显微镜和拉曼光谱等研究了复合薄膜的结构,并且研究了热处理时间对复合薄膜结构和性能的影响.
本文重点介绍一座以石油焦粉为燃料的大型蓄热式马蹄焰窑炉的设计特点.介绍窑炉设计过程中窑炉各部位结构,材料的选型和匹配,窑炉钢结构的优化,窑炉节能、烟气处理方面的内容以及石油焦燃料的特点和燃烧系统工艺.
采用常压化学气相沉积法(APCVD)在浮法玻璃生产线上直接制备低辐射镀膜玻璃(在线LOW-E)具有产量大、成本低、膜层硬度大、耐久性强等优点.但由于镀膜是在移动的玻璃板上进行的,镀膜工艺必须与浮法玻璃生产线相匹配,使得各项工艺参数的操作和优化难度很大.除了优良的光电性能和大面积均匀性的要求之外,还要有较高的膜层生长速率和反应气体利用率,为此,需要对镀膜过程的热力学和动力学有深入的了解.本文对反应气
以四异丙醇钛为前驱体,采用浮法在线常压化学气相沉积(APCVD)法大面积均匀制备了TiO2透明易清洁薄膜.运用X射线衍射、场发射扫描电镜、原子力探针显微镜、透射电子显微镜、椭偏仪等测试方法研究了不同前驱体浓度对TiO2薄膜微结构、可见光透过率和光诱导亲水性的影响规律.研究结果表明TiO2薄膜只存在锐钛矿相,前驱体浓度在0.44％～1.76％之间,随着前驱体浓度的提高,薄膜的结晶性能逐渐提高,薄膜厚
采用溶胶凝胶方法结合两种不同热处理工艺制备高浓度掺杂TiO2:Nb薄膜,随后将制备好的薄膜在氢气气氛下700℃退火.采用X射线衍射、扫描电子显微镜、荧光光谱等手段研究了薄膜的结构、组成、微观形貌等信息.研究结果表明,掺杂Nb原子取代Ti晶格后促进了TiO2的n型导电性,使TNO薄膜具有透明导电功能.经氢气退火后锐钛矿相(101)衍射峰明显增强,TiO2:Nb薄膜的结晶性能更为优异.证明氢气退火有利
采用射频等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法以甲烷气体为碳源,在玻璃基体上沉积类金刚石(DLC)薄膜作为保护层,并研究低气压(0.1～2.6Pa)沉积条件下薄膜的结构、氢含量、表面形貌、光学常数与摩擦磨损特性.结果表明,薄膜的拉曼光谱呈现典型的类金刚石结构,推断薄膜中氢元素含量随气压升高先减小再增大.椭偏分析结果表明薄膜的折射率与消光系数均随气压升高先增大再减小,与氢元素含量呈现相反的变化趋势
本文详细介绍无机仿生膜的性能及制备方法,包括自组装成膜法、LB膜法、接枝改性法、原位聚合法、化学气相沉积法CVD和分子沉积法,对比各种方法的应用及优缺点.阐述了无机仿生膜的应用情况,根据无机仿生膜的应用进展以及特殊的性能,对其未来在玻璃上的应用及发展进行了展望.
用直流反应磁控溅射法在ITO导电玻璃上制备了非晶态氧化钨电致变色薄膜,研究了氧氩比、溅射气压、薄膜膜厚对薄膜致色效率、光学调制幅度的影响.采用FESEM、XPS对薄膜表面微观形貌及组分的化合价态进行了表征,采用紫外-可见分光光度计和电化学工作站对样品的光学性能及电致变色性能进行了研究.结果表明:当氧/氩比比值在0.2以上时,薄膜中钨元素为+6价,致色效率及可见光光学调制幅度较优;当沉积气压由1.0
采用溶胶-凝胶法,以甲基三甲氧基硅烷为原料,通过酸碱两步法,在常压条件下制备出了SiO2气凝胶.将气凝胶重新溶解分散,利用旋涂法在FrO玻璃上镀膜,经过热处理,得到了SiO2气凝胶-FTO复合镀膜玻璃.为了更好地调控近红外区域的反射率,在复合玻璃表面采用化学气相沉积的方法再镀一层TiO2薄膜.通过扫描电镜、红外光谱等仪器对复合膜的结构和性能进行了表征,显示出了较低的热导率和较好的光学性能.