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对砷化镓ＭＥＳＦＥＴ４～８Ｗ封装管壳的设计和研制工艺过程进行了讨论。通过多项关键工艺技术的突破，所研制成功的“全金属”套封结构的大腔体封管壳技术性能在中国居领先地位，达到国外９０年代初的水平，隔离度超过日本京都陶瓷公司类似管壳的水平。
砷化镓MESFET4～8W封装技术研究
【摘 要】
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对砷化镓ＭＥＳＦＥＴ４～８Ｗ封装管壳的设计和研制工艺过程进行了讨论。通过多项关键工艺技术的突破，所研制成功的“全金属”套封结构的大腔体封管壳技术性能在中国居领先地位，达到国外９０年代初的水
【机 构】
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航天局804所
【出 处】
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上海市宇航学会第二届学术年会
【发表日期】
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1997年期
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