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该文介绍了用固态源硒化法制备多晶CIS薄膜的工艺过程，详述了化学成膜机理，讨论了工艺中存在的问题及相应的改进措施。
多晶CulnSe<,2>薄膜工艺探讨
【摘 要】
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该文介绍了用固态源硒化法制备多晶CIS薄膜的工艺过程，详述了化学成膜机理，讨论了工艺中存在的问题及相应的改进措施。
【机 构】
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大学光电子器件与技术研究所(天津)
【出 处】
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第三届中国功能材料及其应用学术会议
【发表日期】
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1998年期
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