基于SOI工艺的硅像素探测器的研究

来源 :第十三次全国物理力学大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ebugdoor

【作者】

：

刘义卢云鹏欧阳群

【机构】

：

中国科学院高能物理研究所北京市石景山区玉泉路19号乙 100049

【出处】

：

第十三次全国物理力学大会

【发表日期】

：

2014年期

【关键词】

：

SOI 工艺

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