利用自上而下的方法构筑大面积的硅纳米线阵列结构

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【摘要】

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【作者】

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赵耀龙牛丽红程轲杜祖亮

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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聚苯乙烯微球硅纳米线阵列反应离子束刻蚀磁控溅射

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