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纳米硅(nc-Si)薄膜作为半导体材料中的重要一员，其制备方法及性能研究已经成为国际上的热点之一。本文利用一种激光干涉诱导结晶的方法，由激光光源与二维(2D)移相光栅掩模(PSGM)相结合，产生二维分布的干涉激光束。
激光干涉制备二维纳米硅阵列及在提高光萃取效率中的应用
【摘 要】
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纳米硅(nc-Si)薄膜作为半导体材料中的重要一员，其制备方法及性能研究已经成为国际上的热点之一。本文利用一种激光干涉诱导结晶的方法，由激光光源与二维(2D)移相光栅掩模(PSGM
【机 构】
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南京大学物理系,固体微结构物理国家重点实验室,南京210093
【出 处】
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第二届全国纳米材料与结构、检测与表征研讨会
【发表日期】
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2010年5期
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