沿面放电是介质阻挡放电的一种主要形式,但传统沿面放电等离子体具有延伸区域面积小、高能电子能量密度低的缺点。本文引入第三电极,采用单极性脉冲/负直流双源耦合激励产生滑动型沿面放电的方法,克服传统沿面放电等离子体的缺点,以提高放电等离子体处理挥发性有机物甲苯的能量效率。研究了电气参数(成形电容和负直流电压)、结构参数(电极间距、电极长度和介质材料)以及气相参数(气体流速和气体浓度)对滑动型放电降解甲苯的效果的影响,并对副产物进行分析得出可能的反应路径。实验结果表明,负直流电压的升高会提高甲苯的降解效率,电极间距越小电极长度越长甲苯的降解效率越高。但是电极间距越大时,CO2的选择性越大。另外,减小气体流速、降低气体浓度有利于甲苯的降解效率提高,但能量效率会略有下降。