【摘 要】
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本文研究了硅微悬臂梁谐振器工作原理,给出了微悬臂梁谐振器的MEMS仿真加工工艺.通过Intellisuite软件对硅微悬臂梁谐振器进行了机械特性分析,探讨了微悬臂梁尺寸与固有频率之间的关系;对提高MEMS器件设计的效率和质量,缩短硅微悬臂梁加工制作周期具有一定的指导意义,可以为实际的MEMS器件的生产和设计提供参考.
【机 构】
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黑龙江大学,集成电路重点实验室,黑龙江,哈尔滨,150080
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
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本文研究了硅微悬臂梁谐振器工作原理,给出了微悬臂梁谐振器的MEMS仿真加工工艺.通过Intellisuite软件对硅微悬臂梁谐振器进行了机械特性分析,探讨了微悬臂梁尺寸与固有频率之间的关系;对提高MEMS器件设计的效率和质量,缩短硅微悬臂梁加工制作周期具有一定的指导意义,可以为实际的MEMS器件的生产和设计提供参考.
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