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<正>本文根据我国浮法玻璃生产工艺的特点,建立了浮法在线 CVD 和 MOCVD 大面积沉积技术。研究了在浮法玻璃生产线移动玻璃表面纳米硅（nc-Si）复合薄膜、TiO2掺杂薄膜、SnO2掺杂薄膜等无机功能薄膜的快速沉积工艺,攻克了这些无机功能薄膜稳定形成
CVD法大面积无机功能薄膜的制备技术及新型镀膜玻璃研究
【摘 要】
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<正>本文根据我国浮法玻璃生产工艺的特点,建立了浮法在线 CVD 和 MOCVD 大面积沉积技术。研究了在浮法玻璃生产线移动玻璃表面纳米硅（nc-Si）复合薄膜、TiO2掺杂薄膜、SnO2掺杂
【机 构】
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浙江大学材料系;
【发表日期】
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2004年期
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