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本文尝试用溶胶-凝胶法制备铌酸钾钠基无铅压电陶瓷陶瓷阵列:首先采用电感耦合-深硅刻蚀法(ICP-DRIE)刻蚀硅片得到硅模板,模板上周期性排列着相同直径和深度的孔,同时通过金属醇盐回流法
铌酸钾钠基无铅压电陶瓷微细阵列的溶胶-凝胶法制备及其压电性能
【摘 要】
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本文尝试用溶胶-凝胶法制备铌酸钾钠基无铅压电陶瓷陶瓷阵列:首先采用电感耦合-深硅刻蚀法(ICP-DRIE)刻蚀硅片得到硅模板,模板上周期性排列着相同直径和深度的孔,同时通过金
【机 构】
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清华大学材料科学与工程系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室;
【发表日期】
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2004年期
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