【摘 要】
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为了实现工业上较大行程平移台滚转角误差的快速测量，研究平移台的滚转特性，设计和搭建了一种基于激光外差干涉技术的微小滚转角测量系统，测试和分析了滚珠丝杠直线平移台的滚转特性。测试结果表明：滚珠丝杠直线平移台运行时工作台滚转角变化复杂，滚转角大小不仅随工作台位置的改变而表现出不同程度的波动，波动幅度也随工作台的运行速度不同而不同；此外在滚珠丝杠直线平移台运动终止时工作台需要经历一段时间的滚转波动才会趋
【出 处】
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第十一届全国激光技术与光电子学学术会议
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为了实现工业上较大行程平移台滚转角误差的快速测量，研究平移台的滚转特性，设计和搭建了一种基于激光外差干涉技术的微小滚转角测量系统，测试和分析了滚珠丝杠直线平移台的滚转特性。测试结果表明：滚珠丝杠直线平移台运行时工作台滚转角变化复杂，滚转角大小不仅随工作台位置的改变而表现出不同程度的波动，波动幅度也随工作台的运行速度不同而不同；此外在滚珠丝杠直线平移台运动终止时工作台需要经历一段时间的滚转波动才会趋于稳定，其主要原因是自身部件刚度不均匀，在工作过程中发生弹性形变，待电机停止工作时，存储于系统中的弹性势能将继续影响工作台的运动状态直到弹性势能释放完全。
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