【摘 要】
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场发射冷阴极是一类具有快速响应、低功耗、可微型化等特征的电子发射源。利用电子在真空中可被加速而可以获得高能量和高速特性的特点,由场发射冷阴极产生的真空电子可以在
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场发射冷阴极是一类具有快速响应、低功耗、可微型化等特征的电子发射源。利用电子在真空中可被加速而可以获得高能量和高速特性的特点,由场发射冷阴极产生的真空电子可以在功率和频率特性等获得目前其它固体器件无法达到的技术指标,因此研究和掌握场发射冷阴极及其器件技术,是信息领域科技攻关高地,是真空微纳电子领域的前沿课题。本报告介绍近年来场发射冷阴极及其应用探索的研究动态和进展,主要包括新材料的场发射特性研究、冷阴极研制、冷阴极器件应用及新型器件研究和场发射理论研究方面,同时将展望未来研究动向和发展方向。
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