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本文阐述了浮栅EEPROM存储单元的工作原理以及SMIC工艺下提供的EEPROM 标准存储单元阵列的组成结构特点以及工作条件，并分析了标准单元中的哑单元(DUMMY)放置方式以及DUMMY单元在存储阵列中的功能。
SMIC工艺中EEPROM标准单元的分析和使用
【摘 要】
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本文阐述了浮栅EEPROM存储单元的工作原理以及SMIC工艺下提供的EEPROM 标准存储单元阵列的组成结构特点以及工作条件，并分析了标准单元中的哑单元(DUMMY)放置方式以及DUMMY单元在存储阵列中的功能。
【机 构】
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电子科技大学 成都 610054
【出 处】
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2009四川省电子学会半导体与集成技术专委会学术年会
【发表日期】
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2009年3期
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