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该文报道中国科学院离子束开放研究实验室在离子束薄膜合成研究和应用方面的发展和现状。着重介绍离子束辅助沉积薄膜合成、真空磁过滤弧源沉积薄膜生长，以及离子注入ＳＯＩ材料合成的方法及其物理过程，同时对离子束会成薄膜在工业及国防上的应用也进行了探讨。
离子束薄膜合成及其应用
【摘 要】
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该文报道中国科学院离子束开放研究实验室在离子束薄膜合成研究和应用方面的发展和现状。着重介绍离子束辅助沉积薄膜合成、真空磁过滤弧源沉积薄膜生长，以及离子注入ＳＯＩ材料合成
【机 构】
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科学院离子束开放研究实验室(上海)
【出 处】
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全国薄膜学术讨论会
【发表日期】
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1999年期
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