【摘 要】
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透明导电氧化物薄膜是一种重要的光电材料,它具有导电、可见光区透明、紫外光区截止以及红外光区较高的反射率等特性,在信息及能源等领域的作用日益凸显。ZnO基透明导电膜制
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透明导电氧化物薄膜是一种重要的光电材料,它具有导电、可见光区透明、紫外光区截止以及红外光区较高的反射率等特性,在信息及能源等领域的作用日益凸显。ZnO基透明导电膜制备温度低、电学性能好、容易图案化、价格低廉等优点,是较为理想的透明导电薄膜。随着ZnO基透明导电薄膜的应用领域不断拓展,对薄膜的光电特性的要求呈现出多样化的趋势。满足不同薄膜应用的ZnO基TCO薄膜的光电特性调控技术是本领域研究者关注的热点。本报告在简要论述ZnO基透明导电膜发展现状基础上,重点讨论近年来ZnO薄膜的最新研究热点,包括在提高迁移率和载流子浓度、功函数、光学特性及表面形貌调控、湿热稳定性、柔性导电膜及超薄高性能薄膜制备等方面的最新研究动态。同时,本报告也将分析透明导电薄膜技术的应用及发展趋势,探讨ZnO基透明导电薄膜在薄膜太阳能电池、平板显示器等领域的实际应用。
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