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该文介绍一种可用于在线和在位检测的高分辨率激光轮廓仪。此仪器具有很高的共模抑制比和同类型仪器中最小的形状误差。分辨力优于0.2纳米(Ra)。可以摆放在金刚石车床的刀架上测量超精密加工表面微观形貌。
在线检测超精细表面微观形貌的激光轮廓仪
【摘 要】
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该文介绍一种可用于在线和在位检测的高分辨率激光轮廓仪。此仪器具有很高的共模抑制比和同类型仪器中最小的形状误差。分辨力优于0.2纳米(Ra)。可以摆放在金刚石车床的刀架
【机 构】
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四川大学激光应用技术研究所
【出 处】
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第三届四川省光电技术学术交流会
【发表日期】
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2000年7期
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