【摘 要】
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实验通过喷雾热解法在石英衬底和制绒硅表面制备了高质量的ZnO薄膜。X射线衍射(XRD)表明石英衬底上制备的薄膜为六角纤锌矿结构,且具有明显的单轴择优取向。制绒硅表面的倒金
【机 构】
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南京航空航天大学材料科学与技术学院,江苏,南京,210016
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实验通过喷雾热解法在石英衬底和制绒硅表面制备了高质量的ZnO薄膜。X射线衍射(XRD)表明石英衬底上制备的薄膜为六角纤锌矿结构,且具有明显的单轴择优取向。制绒硅表面的倒金字塔结构会破坏薄膜单轴择优取向;衬底温度为500℃时,薄膜在可见光区的平均透过率高达90%。与未制膜前相比,制膜后单晶硅电池开路电压VOC提高2%,短路电流ISC提高了4.3%,转化效率从12.6%提高到14.3%。
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