等离子体加强化学气相沉积法(PECVD)制备石墨烯现状及应用研究发展

来源 :中国真空学会2012学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:leng159461
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  石墨烯是由碳原子六角结构紧密排列的二维单层石墨层,它可以包成零维的富勒烯,卷成一维的碳纳米管或者堆垛成三维的石墨,故石墨烯是构成其他石墨材料的基本单元。由于其特殊的电学、热学、力学等性质,石墨烯在纳米电子器件、储能材料、光电材料等方面均有潜在应用。制备技术和应用研究是目前石墨烯领域最为重要也是最为活跃的两个研究方面。
其他文献
  介绍了微波技术和高压离子轰击克服“靶中毒”实现“反应溅射”的原理和实践,使用纯金属固态源溅射和蒸发后与活性气体进行化合物镀膜的工艺及优势,以及微波对等离子体输运