【摘 要】
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论述了利用扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）进行纳米加工的机理。详细叙述了用该校自行研制的ＳＴＭ对Ｓｉ（１００）表面进行光刻的工艺流程，通过钝化（将硅片放在１０℅ＨＦ中浸泡约一分钟后抽出晾干）、爆光（将钝化晾干后的硅
【出 处】
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中国机械工程学会超精密加工技术学术交流会
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论述了利用扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）进行纳米加工的机理。详细叙述了用该校自行研制的ＳＴＭ对Ｓｉ（１００）表面进行光刻的工艺流程，通过钝化（将硅片放在１０℅ＨＦ中浸泡约一分钟后抽出晾干）、爆光（将钝化晾干后的硅片夹持在ＳＴＭ工作台上，以一定的扫描参数，控制针尖在硅表面进行爆光扫描）、腐蚀（将爆光后的硅片放入１Ｍ的ＫＯＨ溶液中数秒）、清洗（放入去离子水中约半分钟）等步骤，硅表面刻蚀出了预定的图案。最后给出了实验结果，并进行了分析。
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