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功率VDMOS器件，广泛应用于汽车电子，消费类电子。以汽车电子为代表的应用都要求器件具有高可靠性。本文主要讲述某高压DMOS产品，做高温反偏可靠性考核的时候发生失效，失效类型为阈值电压漂移后偏小失效。经过液晶分析对漏电点定位，然后对漏电点做剖片截面分析，最终发现钝化层有裂纹。失效模型为可动离子通过钝化层裂纹进入沟道，产生沟道漏电，从而引起阈值电压漂移。工艺上在钝化层淀积之前，增加一层TEOS，然后回刻，形成一层spacer，从而解决了钝化层裂纹问题，提高了器件的可靠性能力。