水浴生长硫化锌/铜铟镓硒薄膜界面特性分析

来源 :第八届中国太阳级硅及光伏发电研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhanghai_007
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  在铜铟镓硒(CIGS)薄膜材料上,采用化学水浴法(CBD)制备硫化锌(ZnS)薄膜,较为深入地研究了制备工艺参数对ZnS 薄膜材料以及ZnS/CIGS 界面特性的影响.SEM、XRD 等测试数据表明,随着生长时间变化,薄膜表面颗粒呈明显变化,ZnS 相结构呈非晶态.XPS 图谱表明Zn 元素扩散至CIGS 薄膜表层内,并以一定梯度分布.在适中的CBD 工艺参数条件下,制备出ZnS 薄膜较均匀、致密,薄膜厚度20nm~50nm,光学性能较好.制备铜铟镓硒薄膜电池,得到的最高电池效率为7.78%(AM0).
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