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金属--P型金刚石肖特基势垒性能
金属--P型金刚石肖特基势垒性能
来源 :第六届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:meishan802
【摘 要】
:
该文报道金属--P型金刚石薄膜的肖特基势垒性能。在低阻Si单晶衬底上,用微波等离子体CVD法生长掺硼的多晶金刚石薄膜,用金属与P型金刚石薄膜接触的方法获得金刚石薄膜的肖特基
【作 者】
:
江关辉
【机 构】
:
电子器件研究所
【出 处】
:
第六届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
:
1998年期
【关键词】
:
金属
多晶金刚石薄膜
肖特基势垒
性能
微波等离子体
测试分析
整流
方法
低阻
单晶
衬底
掺硼
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该文报道金属--P型金刚石薄膜的肖特基势垒性能。在低阻Si单晶衬底上,用微波等离子体CVD法生长掺硼的多晶金刚石薄膜,用金属与P型金刚石薄膜接触的方法获得金刚石薄膜的肖特基势垒性能。经测试分析,在10V范围内有4个数量级的整流性能。
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