【摘 要】
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点衍射干涉测量的面型重复精度一定程度上依赖于测量框架结构的短期稳定性,从测量框架高稳定性的使用要求出发,对测量框架的机械结构进行了设计.在此基础上针对检测框架
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春吉林130033
【出 处】
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第四届全国信息光学与光子器件学术会议
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点衍射干涉测量的面型重复精度一定程度上依赖于测量框架结构的短期稳定性,从测量框架高稳定性的使用要求出发,对测量框架的机械结构进行了设计.在此基础上针对检测框架在随机振动下的短期稳定性问题,建立了检测框架的有限元模型,以实际测量的随机振动速度功率谱密度为激励,运用AnSYS有限元分析软件中的随机振动分析模块,对该结构的随机振动响应进行了分析计算.通过分析计算得出测量框架在随机振动下的短期稳定性为0.5144nm,实验测量出5S内的短期稳定性为0.653nm,二者基本吻合.分析表明,测量框架的结构设计以及振动环境满足短期稳定性的指标要求.
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