【摘 要】
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本文采用PECVD技术制备的n型氢化微晶硅氧材料代替Zn0做为背反射电极折射率匹配层，以在非晶硅电池中的应用为例来研究μc-SiOχ：H/Al复合背反射电极设计方案的可行性及相关问题。研究结果表明：在非晶硅电池中加入光电特性合适的μc-SiOχ：H层作为背反射电极折射率匹配层可以实现对电池效率的提高。复合背反射电极的使用主要提高了电池的短路电流密度，电流的提高来源于电池对550～750 nm波长范
【机 构】
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南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电信息技术科学教育部重点实验室,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,天津 300071
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本文采用PECVD技术制备的n型氢化微晶硅氧材料代替Zn0做为背反射电极折射率匹配层，以在非晶硅电池中的应用为例来研究μc-SiOχ：H/Al复合背反射电极设计方案的可行性及相关问题。研究结果表明：在非晶硅电池中加入光电特性合适的μc-SiOχ：H层作为背反射电极折射率匹配层可以实现对电池效率的提高。复合背反射电极的使用主要提高了电池的短路电流密度，电流的提高来源于电池对550～750 nm波长范围内弱吸收光的增强响应。同时，μc-SiOχ：H层的加入也在一定程度上提高了电池的开路电压和填充因子，这种现象可以部分地归因于宽带隙的μc-SiOχ：H材料可以增强非晶硅本征层中的内建电场从而有利于光生载流子的收集。在本文的研究范围内，μc-SiOχ：H/Al复合背反射电极的采用能够将电池的效率相对提高约10％。
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