液晶显示器用高反膜系中TiO膜的工艺研究

来源 :2002中国平板显示学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:guanhuaicn
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本文研究使用双靶磁控溅射设备在线制备高折射率的TiO<,2>膜,制备反射型液晶显示器所需要的大面积高反射率多层膜等.
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