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会议论文
液晶显示器用高反膜系中TiO膜的工艺研究
液晶显示器用高反膜系中TiO膜的工艺研究
来源 :2002中国平板显示学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:guanhuaicn
【摘 要】
:
本文研究使用双靶磁控溅射设备在线制备高折射率的TiO膜,制备反射型液晶显示器所需要的大面积高反射率多层膜等.
【作 者】
:
赵来
范垂祯
深圳市真空技术工程研究开发中心(深圳)
高文波
深圳市真空技术工程研究开发中心(深圳)
杨美芹
查良镇
许生
【机 构】
:
清华大学电子工程系(北京) 深圳豪威真空光电子股份有限公司(深圳)
【出 处】
:
2002中国平板显示学术会议
【发表日期】
:
2002年3期
【关键词】
:
液晶显示器
TiO膜
高折射率
磁控溅射
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本文研究使用双靶磁控溅射设备在线制备高折射率的TiO<,2>膜,制备反射型液晶显示器所需要的大面积高反射率多层膜等.
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